中圖儀器NS系列接觸式臺階儀測膜厚儀超精密接觸式測量微觀輪廓,，主要用于臺階高、膜層厚度,、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量,。

產(chǎn)品功能

1.參數(shù)測量功能

1）臺階高度：能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度，可以準(zhǔn)確測量蝕刻,、濺射,、SIMS、沉積,、旋涂,、CMP等工藝期間沉積或去除的材料；

2）粗糙度與波紋度：能夠測量樣品的粗糙度和波紋度,，分析軟件通過計(jì)算掃描出的微觀輪廓曲線,，可獲取粗糙度與波紋度相關(guān)的Ra、RMS、Rv,、Rp,、Rz等20余項(xiàng)參數(shù)；

3）翹曲與形狀：能夠測量樣品表面的2D形狀或翹曲,，如在半導(dǎo)體晶圓制造過程中,，因多層沉積層結(jié)構(gòu)中層間不匹配所產(chǎn)生的翹曲或形狀變化，或者類似透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑,。

2.數(shù)采與分析系統(tǒng)

1）自定義測量模式：支持用戶以自定義輸入坐標(biāo)位置或相對位移量的方式來設(shè)定掃描路徑的測量模式,；

2）導(dǎo)航圖智能測量模式：支持用戶結(jié)合導(dǎo)航圖、標(biāo)定數(shù)據(jù),、即時(shí)圖像以智能化生成移動(dòng)命令方式來實(shí)現(xiàn)掃描的測量模式,。

3）SPC統(tǒng)計(jì)分析：支持對不同種類被測件進(jìn)行多種指標(biāo)參數(shù)的分析,，針對批量樣品的測量數(shù)據(jù)提供SPC圖表以統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)的變化趨勢,。

3.光學(xué)導(dǎo)航功能

配備了500W像素的彩色相機(jī)，可實(shí)時(shí)將探針掃描軌跡的形貌圖像傳輸?shù)杰浖酗@示,，進(jìn)行即時(shí)的高精度定位測量,。

4.樣品空間姿態(tài)調(diào)節(jié)功能

配備了精密XY位移臺、360°電動(dòng)旋轉(zhuǎn)平臺和電動(dòng)升降Z軸,，可對樣品的XYZ,、角度等空間姿態(tài)進(jìn)行調(diào)節(jié)，提高測量精度及效率,。

作為一種常用的膜厚測量儀器,，NS系列接觸式臺階儀測膜厚儀利用光學(xué)干涉原理，通過測量膜層表面的臺階高度來計(jì)算出膜層的厚度,，具有測量精度高,、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點(diǎn),。它可以測量各種材料的膜層厚度,，包括金屬、陶瓷,、塑料等,。其采用LVDC電容傳感器，具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點(diǎn)使得其在ITO導(dǎo)電薄膜厚度的測量上具有很強(qiáng)的優(yōu)勢,。

針對測量ITO導(dǎo)電薄膜的應(yīng)用場景,，CP200臺階儀提供如下便捷功能：

1）結(jié)合了360°旋轉(zhuǎn)臺的全電動(dòng)載物臺，能夠快速定位到測量標(biāo)志位,；

2）對于批量樣件,，提供自定義多區(qū)域測量功能，實(shí)現(xiàn)一鍵多點(diǎn)位測量,；

3）提供SPC統(tǒng)計(jì)分析功能,，直觀分析測量數(shù)值變化趨勢,；

臺階儀應(yīng)用場景適應(yīng)性強(qiáng)，其對被測樣品的反射率特性,、材料種類及硬度等均無特殊要求,，能夠廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能光伏,、光學(xué)加工,、LED、MEMS器件,、微納材料制備等各行業(yè)領(lǐng)域內(nèi)的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位,，其對表面微觀形貌參數(shù)的準(zhǔn)確表征，對于相關(guān)材料的評定,、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義,。

性能特點(diǎn)

1.亞埃級位移傳感器

具有亞埃級分辨率，結(jié)合單拱龍門式設(shè)計(jì)降低環(huán)境噪聲干擾,，確保儀器具有良好的測量精度及重復(fù)性,；

2.超微力恒力傳感器

1-50mg可調(diào)，以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)樣品表面,，采用超低慣量設(shè)計(jì)和微小電磁力控制,，實(shí)現(xiàn)無接觸損傷的接觸式測量；

3.超平掃描平臺

系統(tǒng)配有超高直線度導(dǎo)軌,，杜絕運(yùn)動(dòng)中的細(xì)微抖動(dòng),，真實(shí)地還原掃描軌跡的輪廓起伏和樣件微觀形貌。

典型應(yīng)用

部分技術(shù)參數(shù)

使用環(huán)境

相對濕度：濕度 （無凝結(jié)）30-40% RH

溫度：16-25℃ (每小時(shí)溫度變化小于2℃)

地面振動(dòng)：6.35μm/s（1-100Hz）

音頻噪音：≤80dB

空氣層流：≤0.508 m/s（向下流動(dòng)）